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电子材料咨询公司TECHCET日前发布报告,预计电子气体行业可能出现供应限制。在需求端,由于半导体行业的扩张,前沿逻辑芯片和3DNAND应用对增长的影响最大。随着晶圆厂的扩建在未来几年持续上线,将需要额外的气体供应来满足需求。
电子气体在半导体制造过程中用量大且覆盖85%以上的环节,可被用作环境气、保护气,载气。近年来,随着电子工业的快速发展,电子气体在半导体行业中的地位日益凸显。民生证券指出,随着国产气体企业品类扩充加速,未来三年,集成电路国产化的常用气体,有望进一步实现多元产品覆盖,伴随多年技术积累,我国电子特气行业有望迎来国产全面“开花”。
上市公司中,华特气体(688268)实现包括氟碳类、光刻类、氢化物等在内的约有50个产品供应到集成电路供应链的进口替代。南大光电(300346)电子特气产品中,高纯磷烷、砷烷主要用于集成电路制造的掺杂工艺和LED的化学气相沉积工艺。
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